SJ6000機(jī)床激光干涉儀環(huán)境適應(yīng)能力好,，以光波為載體,，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，具有測量精度高,、測量范圍大,、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),。使用激光干涉儀測量定位誤差,，并用檢定軟件進(jìn)行記錄，可以輕松獲取軸上多點(diǎn)測量的誤差表,。這些誤差能夠被轉(zhuǎn)譯成補(bǔ)償值,，在相應(yīng)機(jī)床控制器軟件位置進(jìn)行補(bǔ)償值的寫入，實(shí)現(xiàn)機(jī)床的定位誤差補(bǔ)償（螺距補(bǔ)償）,、反向間隙補(bǔ)償,。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析、速度分析,、加速度分析,、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。

數(shù)控機(jī)床的傳動機(jī)構(gòu)一般是滾珠絲桿副,，滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降,，當(dāng)前有效且廣泛應(yīng)用的方法就是利用激光干涉儀對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償,。

SJ6000機(jī)床激光干涉儀對機(jī)床運(yùn)動導(dǎo)軌和滾珠絲桿的各項(xiàng)參數(shù)檢測分析、校準(zhǔn)補(bǔ)償具有重要性,，而機(jī)床在裝配,、加工、生產(chǎn)的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀,，來進(jìn)行多種幾何量精度參數(shù)的測量以及動態(tài)性能的測試,、分析。